ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング株式会社


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環境への取り組み

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水使用量の削減

当社は、井戸水や工業用水から精製した純水を、半導体の洗浄工程や装置の冷却水など、さまざまな用途に使用しています。そのため、製造工程における水使用量そのものの削減に努めるほか、一度使った水を回収して、精製し、再利用するなど、水資源の保全に努めています。

1.枚葉ウェーハ洗浄装置で使用する純水の削減

ウェーハ洗浄装置で使用する純水の削減は、製品歩留に影響を及ぼす危険性があり、活動自体が敬遠されがちです。そんな中、鹿児島テクノロジーセンターでは、徹底した現場確認をおこない、未使用であるべき配管系統に、定常的に純水が流れ込んでいたことをつきとめました。そこで、品質に影響を与えないよう、慎重に評価をおこない、これらの純水を停止させ、年間換算約1.1万㎥の水使用量を削減しました。

2.排水タイマー変更による排水回収率の向上

洗浄工程から出る排水は、処理設備を経て回収設備に流入します。長崎テクノロジーセンターでは、これらをタイマーで管理しているため、この設定値を適正化し、排水の回収率を向上させました。

3.雨水をトイレ用水に再利用

敷地内に降った雨水を回収し、PHチェックで問題がなければ、雨水タンクに貯水して殺菌消毒したうえで、工場内のトイレ用水に活用しています。(PHチェックで、問題があれば、緊急排水タンクへ送り、排水処理をおこないます)この取り組みによって、年間1,400トンを超える雨水利用を実現しています。

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